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主动隔振台是一种采用主动控制系统的设备,它可以实时监测和补偿环境振动对电子显微镜的干扰。主动控制系统通过感知设备上的振动信号,并利用伺服控制、反馈控制等技术,通过电动驱动装置即时对电子显微镜进行微小的位移调整,以抵消环境振动所引起的显微镜位置和姿态的变化。这种技术可以高gao效地减小振动对电子显微镜的影响,从而显著提高分辨率和测量精度。