为什么是空气弹簧?三大核心技术破解精密制造痛点

2025-08-12

① 毫秒级 “动态平衡术”

区别于传统金属弹簧,Fabreeka 通过气囊内气压实时调节(响应速度<10ms),像 “空气缓冲垫” 般吸收设备启停、地面微震的冲击。在光刻机高速扫描时,气囊可根据负载自动补偿,确保光学系统始终处于 “零振动” 状态。

② 极端环境 “生存力”

半导体车间的温湿度堪称 “冰火两重天”:蚀刻区 120℃高温、清洗间 90% 湿度、冷冻站 - 40℃低温。Fabreeka 采用多层复合橡胶 + 碳纤维增强层,历经 100 万次循环测试无老化,零油液泄漏设计更杜绝洁净室污染风险。

③ 全流程 “减振防护网”

不止于光刻机,该技术已渗透芯片制造全链条:
▶ 刻蚀机:减少等离子体喷头振动,刻蚀深度均匀性提升 8%
▶ 晶圆传输:在机械臂关节安装微型气浮模块,晶圆破损率下降 40%
▶ 测试机:隔离外部振动干扰,电学参数测试精度达 ±0.1%

在芯片制造这场 “纳米级的舞蹈” 中,Fabreeka 空气弹簧正成为不可或缺的 “隐形舞伴”。它不仅让设备 “稳如泰山”,更以每 1% 的精度提升,撬动着百亿级半导体产业的效能革命。下一个被 “空气” 改变的,会是你的生产线吗?

 (数据来源:2025 年半导体设备行业白皮书、某头部晶圆厂内部测试报告)